Высокочистые летучие галогениды для волоконной оптики

Тетрахлориды кремния, германия, оксихлорид фосфора, тетрафторид кремния, фреон-113 с содержанием примесей переходных металлов <0,01 ppm wt., водородсодержащих примесей , 0,1 – 1 ppm.